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進口氦質(zhì)譜檢漏儀發(fā)生故障如何處理,如何維護保養(yǎng)?

更新時間:2020-12-27點擊次數(shù):1527
  進口氦質(zhì)譜檢漏儀應用廣泛,在檢漏作業(yè)中,根據(jù)不同產(chǎn)品對密封的要求多采用負壓法,正壓法和壓氦法三種檢漏方法。儀器具備檢測靈敏度高、反應速度快、定位定量準確等優(yōu)點而被廣泛應用,但是在長時間的使用過程中常常會出現(xiàn)一些故障現(xiàn)象,從而影響設(shè)備的正常使用。那么我們怎么解決這寫故障呢?
  
  一、進口氦質(zhì)譜檢漏儀的故障和處理
  
  1、內(nèi)部的泄漏
  
  當檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時,會對檢漏工作造成較大干擾,容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點,更換密封件。
  
  2、本底信號不穩(wěn)定
  
  ①本底信號過高有可能是環(huán)境本底被污染,注意檢查室內(nèi)是否有氦氣源在泄漏。將室內(nèi)的門窗打開通風,降低環(huán)境本底。
  
  ②本底信號過高也有可能是因為質(zhì)譜室被污染。檢漏儀若經(jīng)常檢測含有油污、粉塵等雜質(zhì)較多的被檢件時,質(zhì)譜室很容易被污染,需返廠進行清洗,本底信號不穩(wěn)定,檢查電源電壓是否穩(wěn)定,檢漏儀應有可靠的接地。
  
  ③本底信號不穩(wěn)定,檢查泵油是否渾濁,被污染。
  
  二、進口氦質(zhì)譜檢漏儀的保養(yǎng)注意事項
  
  1、如果儀器不是每天使用,建議每周開機檢查一下,使儀器高真空系統(tǒng)保持真空,縮短儀器使用時的開機時間
  
  2、拆卸儀器部件(如離子源)后,安裝時要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏,可用儀器進行自身檢漏。
  
  3、適時對儀器可能出現(xiàn)的泄漏處(如放氣閥等)進行自身檢漏,發(fā)現(xiàn)漏點后要及時取下清洗或固緊,以免在檢漏時干擾檢漏工作。
  
  4、檢漏儀維修每隔一段時間保養(yǎng)油泵。(散熱口灰塵處理,和泵油的檢查更換)
  
  5、禁止任何外來物掉在或灑在檢漏儀上,尤其是進氣口中,由于氦檢漏儀為高精度儀器,其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。只有經(jīng)過培訓或有資格的設(shè)備維護工程師,才能使用此儀器。
  
  6、使用時,注意觀察進口氦質(zhì)譜檢漏儀的運行情況,一旦發(fā)現(xiàn)問題(如較大振動、高噪音等),儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉(zhuǎn)中,若搬動檢漏儀,容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。馬上切斷電源,并排除故障。
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